BROOKS SLA5850S Mass Flow Controller

یکی از پرکاربردترین Mass Flow Controller های نیمه صنعتی و تحقیقاتی سری BROOKS SLA5850S می باشد که بصورت استاندارد تا فشار کاری 100 بار و بصورت آپشنال تا 300 بار قابل سفارش است. این سری از MFC ها ساخت شرکت BROOKS INSTRUMENT بوده و برای تزریق انواع گازها به راکتورها کاربرد دارند. سیگنالهای ورودی و خروجی آنالوگ ولتاژی و جریانی یا دیجیتال RS485، D-Net یا Profi Bus برای این سری MFC ها قابل سفارش بوده و دقت کنترل و اندازه گیری جریان گاز برای آنها 1% Rate می باشد. MFC های سری SLA5850S ساخت شرکت BROOKS INSTRUMENT توسط شرکت energyproducts بطور کامل پشتیبانی میشود و نرم افزارهای سفارشی برای کنترل و مانیتور سری MFC های SLA5850S  بصورت سفارشی برای مشتریان این محصول توسط واحد نرم افزار شرکت energyproducts در دسترس می باشد.